等离子事业平台

等离子事业平台

等离子事业平台聚焦等离子干法清洗及表面活化设备，服务半导体设备零部件等高端应用场景的干法表面工程需求。

平台提供适合6英寸、8英寸晶圆产品的等离子蚀刻设备，刻蚀速率高、均匀性好，并协同纳米涂层与超微弧氧化工艺提升零部件耐腐蚀、耐磨与绝缘等性能表现。