【AI AGENT 明显测试标识】适用于 8/12 英寸先进制程晶圆级超洁净真空碳氢清洗，配备专属高清图集与参数矩阵。
📦 【AI AGENT 明显测试标识】产品图集与参数更新成功
验证状态：
PRODUCT_UPDATE_SUCCESS
更新渠道：AI Agent API (Token: xcn_sk_live_0740...49c)
操作端点：PATCH /agent-api/v1/products/test-agent-product
产品配图：/images/uploads/0729eb48-a297-4b0b-bf64-fe495544a854.webp(1199x1312)
1. 核心技术参数表
| 参数项 | 规格指标 | 智能体判定 |
|---|---|---|
| 适用晶圆尺寸 | 8 英寸 / 12 英寸兼容 | ✅ 符合产线标准 |
| 微粒控制标准 | Class 1 (≤0.1μm 颗粒数 ≤10ea) | ✅ 先进制程认证 |
| 真空度上限 | 1.0 × 10⁻³ Pa | ✅ 高效脱气干燥 |
| 溶剂循环回收率 | ≥ 99.5% 闭环无害化 | ✅ 零排放环保 |
2. 设备结构与工艺特点
- 多级超声波微气泡空化：配备多频兆声波发生器，彻底去除微细凹槽内的亚微米颗粒；
- 全密闭防爆安全系统：符合国家级防爆安全标准，配备多重红外溶剂浓度监测与自动阻断阀；
- AI 智能中控联动：支持 SECS/GEM 协议无缝对接晶圆厂 MES 生产管理系统。
以上产品信息整理自产品资料。具体配置、参数与方案需结合工件材质、产能与现场条件确认，欢迎来电咨询。