将兆声波换能器集成于宽幅水幕喷头内部，清洗药液经耦合层形成连续均匀的薄水幕帘，声能直接耦合进流动水幕，以面接触方式覆盖基材完成清洗。流动药液即时带走剥离颗粒，避免二次污染，适用于玻璃基板、OLED、LCD 等大尺寸基材的连续通过式清洗。
水幕式兆声波清洗技术
水幕式兆声波清洗系统将换能器集成于宽幅水幕喷头内部。清洗药液或超纯水经耦合层后形成一层连续、均匀的薄水幕帘，兆声波能量直接耦合进流动水幕，携带声能的完整水幕以面接触方式覆盖基材表面，完成颗粒剥离与清洗。
与槽式浸没清洗相比，水幕式方案把声能约束在流动液膜内，避免了槽体内声场分布不均和污染物二次附着；连续流动的药液即时带走已剥离颗粒，适合大尺寸基材的连续通过式清洗。1 MHz 声场以声流与微流剪切为主，机械作用温和，对微细图形无损伤。
设备特点
- 宽幅振板，长度 750 mm，单次覆盖幅面大，适配大尺寸基板；
- 声能直接耦合进流动水幕，液膜内声场连续均匀，能量利用率高；
- 流动药液即时带走剥离颗粒，避免清洗后二次污染；
- 输出功率 0～600 W 连续可调，可按基材材质与污染物类型匹配声强；
- 接液部件采用 PTFE / PVC 材质，耐酸碱腐蚀，金属离子析出低；
- 支持按客户产线节拍与基材幅面非标定制喷头结构与振板尺寸。
技术参数
| 参数项 | HKD-MegaShower-1M600W |
|---|---|
| 工作频率 | 1 MHz |
| 最大功率 | 600 W |
| 功率调节范围 | 0～600 W |
| 振板尺寸 | 750 × 70 × 220 mm |
| 接液材料 | PTFE / PVC |
| 典型适配基材 | 玻璃基板、OLED、LCD |
典型应用
- 玻璃基板清洗
- OLED / LCD 显示面板清洗
- 大尺寸基材连续通过式清洗
以上产品信息整理自产品资料。具体配置、参数与方案需结合工件材质、产能与现场条件确认，欢迎来电咨询。